The Finite Element Method as applied to the study of gratings embedded in complementary metal-oxide semiconductor image sensors - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Optical Engineering Année : 2009

The Finite Element Method as applied to the study of gratings embedded in complementary metal-oxide semiconductor image sensors

Guillaume Demèsy
  • Fonction : Auteur
Institut FRESNEL
Frédéric Zolla
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 860490
Institut FRESNEL
André Nicolet
Institut FRESNEL
Mireille Commandre
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 832173
Institut FRESNEL
Caroline Fossati
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 832172
Institut FRESNEL
Olivier Gagliano
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
S. Ricq
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
Brendan Dunne
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]

Domaines

Electromagnétisme Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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Soumis le : jeudi 25 février 2010-18:33:45

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Identifiants

  • HAL Id : hal-00459977 , version 1

Citer

Guillaume Demèsy, Frédéric Zolla, André Nicolet, Mireille Commandre, Caroline Fossati, et al.. The Finite Element Method as applied to the study of gratings embedded in complementary metal-oxide semiconductor image sensors. Optical Engineering, 2009, 48, pp.058002. ⟨hal-00459977⟩

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