Fabrication of large area ultrathin silicon membrane: Application for high efficiency extreme ultraviolet diffraction gratings - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science and Technology Année : 2010

Fabrication of large area ultrathin silicon membrane: Application for high efficiency extreme ultraviolet diffraction gratings

C. Constancias
  • Fonction : Auteur
B. Dalzotto
  • Fonction : Auteur
P. Michallon
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J. Wallace
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M. Saib
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

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https://hal.science/hal-00454443

Soumis le : lundi 8 février 2010-15:43:35

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:26

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Dates et versions

hal-00454443 , version 1 (08-02-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00454443 , version 1

Citer

C. Constancias, B. Dalzotto, P. Michallon, J. Wallace, M. Saib. Fabrication of large area ultrathin silicon membrane: Application for high efficiency extreme ultraviolet diffraction gratings. Journal of Vacuum Science and Technology, 2010, pp.B 28(1), Jan/Feb 2010. ⟨hal-00454443⟩

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