Direct measurements of the energy transfers in deposition or etching low pressure plasma processes

Anne-Lise Thomann (1) , Rémi Dussart (1) , Nadjib Semmar (1) , Larbi Bedra (1) , Jacky Mathias (1) , Yves Tessier (1) , Laurianne E. Pichon (1) , Stéphane Mazouffre (2)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 LA - Laboratoire d'aérothermique

Domaines: Génie des procédés

Anne-Lise Thomann, Rémi Dussart, Nadjib Semmar, Larbi Bedra, Jacky Mathias, et al.. Direct measurements of the energy transfers in deposition or etching low pressure plasma processes. 11th International Conference on Plasma Surface Engineering, PSE2008, Sep 2008, Garmisch-Partenkirchen, Germany. ⟨hal-00445589⟩