Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Remi Dussart : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00442684
Soumis le : mardi 22 décembre 2009-11:47:32
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00442684 , version 1
Citer
Nasreddine Mekkakia Maaza, Remi Dussart, Philippe Lefaucheux, Pierre Ranson. Submicronic Etching in the Cryogenic Process. 16th International Colloquium on Plasma Processes, Jun 2007, Toulouse, France. ⟨hal-00442684⟩
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