Influence of the power on the particles generated in a low pressure radio-frequency nitrogen -rich methane discharge - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2009

Influence of the power on the particles generated in a low pressure radio-frequency nitrogen -rich methane discharge

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Isabelle Géraud-Grenier  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00438775

Soumis le : vendredi 4 décembre 2009-15:59:22

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52

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Dates et versions

hal-00438775 , version 1 (04-12-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00438775 , version 1

Citer

Véronique Massereau-Guilbaud, Jérémy Pereira, Isabelle Géraud-Grenier, André Plain. Influence of the power on the particles generated in a low pressure radio-frequency nitrogen -rich methane discharge. Journal of Applied Physics, 2009, 105, pp.033302-1-8. ⟨hal-00438775⟩

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