Article Dans Une Revue
Nanotechnology
Année : 2009
Marie-Anne Jung : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00429238
Soumis le : lundi 2 novembre 2009-10:35:46
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00429238 , version 1
Citer
F. Delachat, Marzia Carrada, G. Ferblantier, J.J. Grob, A. Slaoui. Properties of silicon nanoparticles embedded in SiNx deposited by microwave-PECVD. Nanotechnology, 2009, 20 (415608), pp.1-5. ⟨hal-00429238⟩
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