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Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Properties of silicon nanoparticles in SiNx deposited by microwave enhanced chemical vapor deposition

Marie-Anne Jung  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00408941

Soumis le : mardi 4 août 2009-15:03:27

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00408941 , version 1 (04-08-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00408941 , version 1

Citer

F. Delachat, Marzia Carrada, G. Ferblantier, M. Amann, J.J. Grob, et al.. Properties of silicon nanoparticles in SiNx deposited by microwave enhanced chemical vapor deposition. European Material Research Society (E-MRS) Spring Conference, Symposium on Inorganic and Nanostructured Photovoltaics, Jun 2009, STRASBOURG, France. ⟨hal-00408941⟩

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