Diagnostics spatio-temporel du transport des particules pulvérisées d'un procédé PVD pulse de haute puissance - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Diagnostics spatio-temporel du transport des particules pulvérisées d'un procédé PVD pulse de haute puissance

C. Boisse-Laporte
  • Fonction : Auteur
L. Depouques
  • Fonction : Auteur
J.C. Imbert
  • Fonction : Auteur
J. Bretagne
  • Fonction : Auteur
M. Ganciu
  • Fonction : Auteur
L. Teule-Gay
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00399973 , version 1 (29-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00399973 , version 1

Citer

C. Boisse-Laporte, L. Depouques, J.C. Imbert, J. Bretagne, M. Ganciu, et al.. Diagnostics spatio-temporel du transport des particules pulvérisées d'un procédé PVD pulse de haute puissance. Journées d'étude sur les nouvelles tendances en procédés magnétron et arc pour le dépôt de couches minces, 2006, grenoble, France. ⟨hal-00399973⟩
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