Small diameter silicon nanowires growth by CVD Au catalyzed

P. Gentile (1) , T. David (1) , D. Buttard (1, 2) , M. den Hertog (3) , J.L. Rouviere (3) , P. Ferret (4) , F. Dhalluin (5) , T. Baron (5)

1 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
2 UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019]
3 LEMMA - Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines: Matière Condensée [cond-mat]; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Génie des procédés; Matériaux

P. Gentile, T. David, D. Buttard, M. den Hertog, J.L. Rouviere, et al.. Small diameter silicon nanowires growth by CVD Au catalyzed. 397 WE-Heraeus-Seminar, 2007, Bonn, Germany. ⟨hal-00396818⟩