Si nanowire growth and characterization using a microelectronics-compatible catalyst : PtSI

T. Baron (1) , M. Gordon (1) , F. Dhalluin (1) , C. Ternon (1) , P. Ferret (2) , P. Gentile (3)

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures

Domaines: Matière Condensée [cond-mat]; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

T. Baron, M. Gordon, F. Dhalluin, C. Ternon, P. Ferret, et al.. Si nanowire growth and characterization using a microelectronics-compatible catalyst : PtSI. Applied Physics Letters, 2006, pp.89, December (2006) 233111. ⟨hal-00394743⟩