Double-anchoring fluorinated molecules for anti-adhesion mold treatment in UV nanoimprint lithography - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Double-anchoring fluorinated molecules for anti-adhesion mold treatment in UV nanoimprint lithography

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00394574

Soumis le : vendredi 12 juin 2009-09:17:59

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:43

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00394574 , version 1 (12-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00394574 , version 1

Citer

A. Francone, D. Boutry, A. Beaurain, B. Pelissier, J. Boussey-Said, et al.. Double-anchoring fluorinated molecules for anti-adhesion mold treatment in UV nanoimprint lithography. Electron, Ion, and Photon Beam technology and Nanofabrication conference - EIPBN 2009, 2009, miami, United States. ⟨hal-00394574⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS FMNT LTM LITHOGRAPHY
87 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More