Article Dans Une Revue
Jap. J. Appl. Phys.
Année : 2002
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00385720
Soumis le : mercredi 20 mai 2009-08:39:11
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:14
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00385720 , version 1
Citer
C. Perret, C. Gourgon, G. Micouin, J.H. Tortai, Jp Grolier. Influence of thermal properties of polymers on Nanoimprint lithography performance. Jap. J. Appl. Phys., 2002, Vol. 41,, pp.4203-4207. ⟨hal-00385720⟩
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