Gaseous phase study of the Zr-organometallic ALD precursor TEMAZ by mass spectrometry - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of The Electrochemical Society Année : 2009

Gaseous phase study of the Zr-organometallic ALD precursor TEMAZ by mass spectrometry

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Matériaux Génie des procédés

Yannick Champion  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00374416

Soumis le : mercredi 8 avril 2009-16:19:14

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00374416 , version 1 (08-04-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00374416 , version 1

Citer

D. Monnier, I. Nuta, C. Chatillon, M. Gros-Jean, F. Volpi, et al.. Gaseous phase study of the Zr-organometallic ALD precursor TEMAZ by mass spectrometry. Journal of The Electrochemical Society, 2009, 156 (1), pp.71-75. ⟨hal-00374416⟩

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