Procédé de réglage de l'écartement de deux éléments mécaniques d'une structure micromécanique sensiblement plane et résonateur électromécanique correspondant

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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00372464
Contributor : Marie-Renée Friscourt <>
Submitted on : Wednesday, April 1, 2009 - 11:33:41 AM
Last modification on : Thursday, October 18, 2018 - 1:23:15 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00372464, version 1

Citation

A. Kaiser, D. Galayko, D. Collard. Procédé de réglage de l'écartement de deux éléments mécaniques d'une structure micromécanique sensiblement plane et résonateur électromécanique correspondant. N° de brevet: FR2832270 (A1). 2003. ⟨hal-00372464⟩

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