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Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Erbium silicide formation under ultra high vacuum

N. Breil
  • Fonction : Auteur
Emmanuel Dubois
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
Y. Morand
  • Fonction : Auteur
V. Carron
  • Fonction : Auteur
A. Halimaoui
  • Fonction : Auteur
T. Skotnicki
  • Fonction : Auteur

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-00367362

Soumis le : mercredi 11 mars 2009-10:08:27

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00367362 , version 1 (11-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00367362 , version 1

Citer

N. Breil, Emmanuel Dubois, Y. Morand, V. Carron, A. Halimaoui, et al.. Erbium silicide formation under ultra high vacuum. Proceedings of the 16th European Workshop on Materials for Advanced Metallization, MAM 2007, 2007, Bruges, Belgium. ⟨hal-00367362⟩

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