Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2008
Nathalie Bonneval : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00359668
Soumis le : lundi 9 février 2009-10:40:07
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Citer
D. Rebiscoul, L. Broussous, W. Puyrenier, V. Rouessac, A. Ayral, et al.. "Study of solvent penetration inside a porous low k material by neutron reflectometry, influence of material surface and of solvent properties". Microelectronic Engineering, 2008, 85 (10), pp.2089-2093. ⟨10.1016/j.mee.2008.03.010⟩. ⟨hal-00359668⟩
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