Silicon nanotweezers with subnanometer resolution for the micromanipulation of biomolecules

C. Yamahata; D. Collard; Bernard Legrand; T. Takekawa; M. Kumemura; G. Hashiguchi; H. Fujita

doi:10.1109/JMEMS.2008.922080

Article Dans Une Revue Journal of Microelectromechanical Systems Année : 2008

Silicon nanotweezers with subnanometer resolution for the micromanipulation of biomolecules

, , (1) , , , ,

1

C. Yamahata

Fonction : Auteur

D. Collard

Fonction : Auteur

Bernard Legrand

Fonction : Auteur
PersonId : 4144
IdHAL : bernard-legrand
ORCID : 0000-0001-5158-3654
IdRef : 137439423

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

CV

T. Takekawa

Fonction : Auteur

M. Kumemura

Fonction : Auteur

G. Hashiguchi

Fonction : Auteur

H. Fujita

Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00357278

Soumis le : vendredi 30 janvier 2009-08:24:17

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00357278 , version 1 (30-01-2009)

Identifiants

HAL Id : hal-00357278 , version 1
DOI : 10.1109/JMEMS.2008.922080

Citer

C. Yamahata, D. Collard, Bernard Legrand, T. Takekawa, M. Kumemura, et al.. Silicon nanotweezers with subnanometer resolution for the micromanipulation of biomolecules. Journal of Microelectromechanical Systems, 2008, 17, pp.623-631. ⟨10.1109/JMEMS.2008.922080⟩. ⟨hal-00357278⟩

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