Ablation laser pour la microélectronique plastique

Anne-Patricia Alloncle (1) , Benjamin Thomas (1) , David Grojo (1) , Philippe Delaporte (1) , Marc Sentis (1) , Sébastien Sanaur (2) , Mickaël Barret (2) , Philippe Collot (3)

1 LP3 - Laboratoire Lasers, Plasmas et Procédés photoniques
2 PS2-ENSMSE - Département Packaging et Supports Souples
3 CMP-ENSMSE - Centre Microélectronique de Provence - Site Georges Charpak (CMP-GC)

Domaines: Optique / photonique

Anne-Patricia Alloncle, Benjamin Thomas, David Grojo, Philippe Delaporte, Marc Sentis, et al.. Ablation laser pour la microélectronique plastique. Journal de Physique IV Proceedings, 2006, 138, pp.213-221. ⟨10.1051/jp4:2006138024⟩. ⟨hal-00346856⟩