Fast approximation of transfer cross coefficient for optical proximity correction - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Optics Express Année : 2008

Fast approximation of transfer cross coefficient for optical proximity correction

Rodolphe Sabatier
  • Fonction : Auteur
Institut FRESNEL
Caroline Fossati
  • Fonction : Auteur
Institut FRESNEL
Salah Bourennane
Institut FRESNEL
Antonio Di Giacomo
  • Fonction : Auteur

Domaines

Recherche d'information [cs.IR] Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Salah Bourennane  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00325028

Soumis le : jeudi 25 septembre 2008-23:47:48

Dernière modification le : mercredi 10 janvier 2024-10:29:53

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00325028 , version 1 (25-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00325028 , version 1

Citer

Rodolphe Sabatier, Caroline Fossati, Salah Bourennane, Antonio Di Giacomo. Fast approximation of transfer cross coefficient for optical proximity correction. Optics Express, 2008, Vol. 16 (Issue 19), pp. 15249-15253. ⟨hal-00325028⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS UNIV-AMU IF EC-MARSEILLE
113 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More