Article Dans Une Revue
Journal of Non-Crystalline Solids
Année : 2008
Yolande Sambin : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00316416
Soumis le : mercredi 3 septembre 2008-10:14:13
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:50
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00316416 , version 1
Citer
Khalid Kandoussi, Claude Simon, Nathalie . Coulon, Khaled Belarbi, Tayeb Mohammed-Brahim. Nanocrystalline silicon TFT process using silane diluted in argon-hydrogen mixtures. Journal of Non-Crystalline Solids, 2008, 354, pp.2513-2518. ⟨hal-00316416⟩
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