A Method to Measure Beam Deflections in different Resonance Modes Piezoresistively and its Incorporation into 2D Optical µ- scanners

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IEEJ, Trans.SM, 2007, 127 (1)
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Contributeur : Sylvie Garcia <>
Soumis le : jeudi 29 mai 2008 - 17:08:22
Dernière modification le : jeudi 7 février 2019 - 14:21:46

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  • HAL Id : hal-00283361, version 1

Citation

H. Muro, T. Oki, A. Asaoka, Tarik Bourouina, Gilbert Reyne, et al.. A Method to Measure Beam Deflections in different Resonance Modes Piezoresistively and its Incorporation into 2D Optical µ- scanners. IEEJ, Trans.SM, 2007, 127 (1). 〈hal-00283361〉

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