An Analytical Model for Transient Deformation of Static-Mode Microcantilever Sensors with Viscoelastic Coatings - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

An Analytical Model for Transient Deformation of Static-Mode Microcantilever Sensors with Viscoelastic Coatings

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00280699

Soumis le : lundi 19 mai 2008-15:10:21

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00280699 , version 1 (19-05-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00280699 , version 1

Citer

Stephen Heinrich, Michael Wenzel, Fabien Josse, Isabelle Dufour. An Analytical Model for Transient Deformation of Static-Mode Microcantilever Sensors with Viscoelastic Coatings. International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors 2008, May 2008, Mainz, Germany. 2 p. ⟨hal-00280699⟩

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