Fil chaud dans une microcavité et capteur de pression en technologie MEMS

Delphine Meunier (1) , Dimitrios Tsamados (1) , Jumana Boussey (1) , Sedat F. Tardu (2)

1 IMEP - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique
2 LEGI - Laboratoire des Écoulements Géophysiques et Industriels [Grenoble]

In this paper we present a new technology for wall shear stress integrated sensor fabrication. Thanks to the use of appropriate SOI wafers and wafer bonding technique, we found out an innovative technology that provides ultraminiaturized array-sensors needed in numerous microfluidic applications.

Domaines: Mécanique des fluides [physics.class-ph]; Mécanique des fluides [physics.class-ph]

Delphine Meunier, Dimitrios Tsamados, Jumana Boussey, Sedat F. Tardu. Fil chaud dans une microcavité et capteur de pression en technologie MEMS. La Houille Blanche - Revue internationale de l'eau, 2003, 4, pp.75-82. ⟨10.1051/lhb/2003079⟩. ⟨hal-00262017⟩