The role of multicomponent surface diffusion in growth and doping of silicon nanowires - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

The role of multicomponent surface diffusion in growth and doping of silicon nanowires

A.A. Efremov
  • Fonction : Auteur
A. Klimovskaya
  • Fonction : Auteur
D. Hourlier
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00243972

Soumis le : jeudi 7 février 2008-10:26:52

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00243972 , version 1 (07-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00243972 , version 1

Citer

A.A. Efremov, A. Klimovskaya, D. Hourlier. The role of multicomponent surface diffusion in growth and doping of silicon nanowires. European Material Research Society Spring Meeting, E-MRS - IUMRS - ICEM 06, 2006, Nice, France. ⟨hal-00243972⟩

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