Mechanical cross-characterisation of sputtered inconel thin films for MEMS applications

G. Fleury (1, 2) , C. Malhaire (3, 4, 5) , C. Populaire (3) , Mireille Verdier (6, 7) , Arnaud Devos (8) , J.L. Charvet (1) , J.P. Polizzi (1)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 CMP-ENSMSE - Centre Microélectronique de Provence - Site Georges Charpak (CMP-GC)
3 LPM - Laboratoire de physique de la matière
4 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
5 INSAT - Institut National des Sciences Appliquées et de Technologie [Tunis]
6 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
7 LTPCM - Laboratoire de thermodynamique et physico-chimie métallurgiques
8 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

G. Fleury, C. Malhaire, C. Populaire, Mireille Verdier, Arnaud Devos, et al.. Mechanical cross-characterisation of sputtered inconel thin films for MEMS applications. Sensors and Actuators B: Chemical, 2007, 126 (1), pp.48-51. ⟨10.1016/j.snb.2006.10.038⟩. ⟨hal-00293917⟩