Article Dans Une Revue
Applied Surface Science
Année : 2007
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00206321
Soumis le : jeudi 17 janvier 2008-09:59:08
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00206321 , version 1
Citer
V. Jousseaume, G. Rolland, D. Babonneau, J.P. Simon. Structural study of nanoporous ultra low-k dielectrics using complementary techniques: ellipsometric porosimetry, X-ray reflectivity and grazing incidence small-angle X-ray scattering. Applied Surface Science, 2007, 254, pp.473-479. ⟨hal-00206321⟩
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