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Communication Dans Un Congrès Année : 1983

Nouveau méthanomètre à oxyde semiconducteur

Claude Lucat
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Francis Menil
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
C. Miquel
  • Fonction : Auteur
J. Portier
  • Fonction : Auteur
M. Destriau
  • Fonction : Auteur
J. Salardenne
  • Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00203918

Soumis le : vendredi 11 janvier 2008-14:21:01

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00203918 , version 1 (11-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00203918 , version 1

Citer

Claude Lucat, Francis Menil, C. Miquel, J. Portier, M. Destriau, et al.. Nouveau méthanomètre à oxyde semiconducteur. SEE de la microélectronique à la microionique, 1983, France. ⟨hal-00203918⟩

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