Couches minces de nitrure de tantale pour barrières de diffusion entre cuivre et silicium, - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Couches minces de nitrure de tantale pour barrières de diffusion entre cuivre et silicium,

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Nicole Fréty  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00186592

Soumis le : vendredi 9 novembre 2007-18:32:50

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00186592 , version 1 (09-11-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00186592 , version 1

Citer

Julien Nazon, Florent Bernard, Joêl Sarradin, Jean-Claude Tedenac, Nicole Fréty. Couches minces de nitrure de tantale pour barrières de diffusion entre cuivre et silicium,. Matériaux 2006, Nov 2006, Dijon, France. ⟨hal-00186592⟩

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