Article Dans Une Revue
Electronics Letters
Année : 1997
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https://hal.science/hal-00183961
Soumis le : mardi 30 octobre 2007-12:41:35
Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00183961 , version 1
Citer
Emmanuel Saint-Christophe, Hélène Fremont, Gilles N'Kaoua, Yves Danto. Applications of a theoretical model for Linewidth Control in photoresists sensitised by a laser beam. Electronics Letters, 1997, 1, pp.1. ⟨hal-00183961⟩
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