Article Dans Une Revue
Microelectronics Reliability
Année : 2005
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https://hal.science/hal-00183108
Soumis le : lundi 29 octobre 2007-15:33:13
Dernière modification le : mercredi 2 août 2023-16:40:25
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00183108 , version 1
Citer
David Veyrie, D. Lellouchi, Jl Roux, F. Pressecq, Angélique Tetelin, et al.. FTIR spectroscopy for the hermeticity assessment of micro-cavities. Microelectronics Reliability, 2005, 45, pp.1764-1769. ⟨hal-00183108⟩
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