Intra-IC Inspection and Metrology with Picosecond Laser Ultrasonics

Type de document :
Communication dans un congrès
22nd IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conference (IMTC) 2005, 2005, Canada. NC, pp.1, 2005
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Soumis le : lundi 29 octobre 2007 - 13:11:02
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Citation

Grégory Andriamonje, Vincent Pouget, Yves Ousten, Dean Lewis, Pascal Fouillat, et al.. Intra-IC Inspection and Metrology with Picosecond Laser Ultrasonics. 22nd IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conference (IMTC) 2005, 2005, Canada. NC, pp.1, 2005. 〈hal-00182901〉

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