Hermeticity assessment of wafer level MEMS packaging - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Hermeticity assessment of wafer level MEMS packaging

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00165664 , version 1 (27-07-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00165664 , version 1

Citer

Claude Pellet. Hermeticity assessment of wafer level MEMS packaging. 9th symposium on Design Test Integration and Packaging of MEMS (DTIP'07), Apr 2007, Stresa, Italy. ⟨hal-00165664⟩
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