New screen-printed MEMS fabrication process : feasibility of thermal microactuator

Type de document :
Communication dans un congrès
GDR MicroNanoSystèmes, Oct 2006, Lille, France
Liste complète des métadonnées

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00164615
Contributeur : Isabelle Dufour <>
Soumis le : samedi 21 juillet 2007 - 17:46:26
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:21:07

Identifiants

  • HAL Id : hal-00164615, version 1

Citation

Claude Lucat, Patrick Ginet. New screen-printed MEMS fabrication process : feasibility of thermal microactuator. GDR MicroNanoSystèmes, Oct 2006, Lille, France. 〈hal-00164615〉

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