AlN as an actuation material for MEMS ; The case of AlN driven cantilevers - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

AlN as an actuation material for MEMS ; The case of AlN driven cantilevers

Domaines

Mécanique des matériaux [physics.class-ph]

Christine Froidevaux  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00160150

Soumis le : jeudi 5 juillet 2007-09:54:05

Dernière modification le : jeudi 13 avril 2023-09:26:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00160150 , version 1 (05-07-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00160150 , version 1

Citer

A. Andrei, K. Krupa, Patrick Delobelle, Laurent Hirsinger, C. Gorecki, et al.. AlN as an actuation material for MEMS ; The case of AlN driven cantilevers. 2006, Goteborg, Sweden. ⟨hal-00160150⟩

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