Polyimid resist as infrared absorbing layer for radiation microsensors - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Sensors and Materials Année : 2000

Polyimid resist as infrared absorbing layer for radiation microsensors

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00158488 , version 1 (29-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00158488 , version 1

Citer

K. Ziouche, P. Godts, D. Leclercq. Polyimid resist as infrared absorbing layer for radiation microsensors. Sensors and Materials, 2000, 12, pp.445-454. ⟨hal-00158488⟩
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