Electrostatic impact-drive microactuator - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2001

Electrostatic impact-drive microactuator

Y.Y. Mita
  • Fonction : Auteur
M. Arai
  • Fonction : Auteur
S. Tenseka
  • Fonction : Auteur
D. Kobayashi
  • Fonction : Auteur
Philippe Basset
CV
A. Kaiser
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
P. Masquelier
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
D. Collard
  • Fonction : Auteur
H. Fujita
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00152203

Soumis le : mercredi 6 juin 2007-11:10:50

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152203 , version 1 (06-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152203 , version 1

Citer

Y.Y. Mita, M. Arai, S. Tenseka, D. Kobayashi, Philippe Basset, et al.. Electrostatic impact-drive microactuator. 2001, pp.590-593. ⟨hal-00152203⟩

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