Electronique de mesure rapprochée pour microleviers piézorésistifs
Résumé
Contexte Dans le cadre du développement de nouveaux types de capteurs, l'équipe de recherche Nano du laboratoire souhaite développer une électronique spécifique. Ces capteurs sont des peignes de microleviers piézorésistifs. C'est à dire que chaque levier comporte sur sa structure une piézorésistance permettant de mesurer sa propre déflexion. La longueur de ces leviers est d'une centaine de micromètres. Les domaines d'applications sont entre autres : L'analyse médicale, le positionnement et la microscopie. Développement Dans un cadre de mesure topographique de micro structures par exemple, l'objectif est de détecter des déflexions de levier de l'ordre du nanomètre, ce qui se traduit par une variation relative de la piézorésistance de l'ordre de 10-6. Au vu des dimensions et des niveaux électriques mis en jeu, l'étude du principe de détection et le développement d'une électronique de proximité est effectué. Dans un deuxième temps, un système de commande déporté est développé afin d'obtenir un ensemble complet validant la faisabilité et l'utilisation de tels capteurs. Plusieurs modes de fonctionnement sont prévus : Le mode statique se traduit par une modification relative de la résistance du levier. Cette variation relative est de l'ordre de: nm-1. Le mode dynamique place le microlevier à sa fréquence de résonance au moyen d 'un actionneur piézoélectrique. Dans cette configuration, l'effort se traduit par une modification des paramètres d'oscillation. Cette fréquence d'oscillation est de l'ordre du MHz. L'électronique de proximité développée est appelée à être réduite en taille grâce à la technologie hybride.
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
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