Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 2006
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00207470
Soumis le : jeudi 17 janvier 2008-14:14:28
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:24:50
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00207470 , version 1
Citer
F. Ciaramella, V. Jousseaume, S. Maitrejean, M. Verdier, B. Remiat, et al.. Crosslinking impact of mesoporous MSQ films used in microelectronic interconnections on mechanical properties. Thin Solid Films, 2006, 495 (1-2), pp.124-129. ⟨hal-00207470⟩
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