Ion beam etching of PZT thin films : influence of grain size on the damages induced - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of the European Ceramic Society Année : 2005

Ion beam etching of PZT thin films : influence of grain size on the damages induced

Caroline Soyer
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens

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https://hal.science/hal-00138431

Soumis le : lundi 26 mars 2007-11:41:28

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-00138431 , version 1 (26-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00138431 , version 1

Citer

Caroline Soyer, Eric Cattan, Denis Remiens. Ion beam etching of PZT thin films : influence of grain size on the damages induced. Journal of the European Ceramic Society, 2005, 25, pp.2269-2272. ⟨hal-00138431⟩

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