Communication Dans Un Congrès
Année : 2005
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https://hal.science/hal-00138399
Soumis le : lundi 26 mars 2007-11:04:55
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00138399 , version 1
Citer
J. Penaud, F. Fruleux, Emmanuel Dubois. Transformation of hydrogen silsexquioxane properties with RIE plasma treatment for advanced multiple-gate MOSFETs. 2005, pp.P-P.15. ⟨hal-00138399⟩
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