Porous carbon thin film plasma CVD deposition - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00098657 , version 1 (25-09-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00098657 , version 1

Citer

Amaël Caillard, Christine Charles, Rod W. Boswell, Devin Ramdutt, O. Sutherland, et al.. Porous carbon thin film plasma CVD deposition. 6th Intern. Conf. on Reactive Plasmas and 23rd Symp. on Plasma Processing, 2006, Matsushima-Sendai, Japan. ⟨hal-00098657⟩
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