Article Dans Une Revue
Applied Surface Science
Année : 2006
Marie-Anne Jung : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00089369
Soumis le : vendredi 18 août 2006-08:58:28
Dernière modification le : mardi 23 janvier 2024-14:58:58
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00089369 , version 1
Citer
S. Coutanson, É. Fogarassy, J. Venturini. Mechanisms and application of the Excimer laser doping from spin-on glass sources for USJ fabrication. Applied Surface Science, 2006, 252, pp.4502-4505. ⟨hal-00089369⟩
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