Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate

Abstract : GaAs micromachining technology was used for fabricating coplanar transmission lines on Si3N4 and polyimide membranes deposited on GaAs substrates. On-wafer measurements of scattering parameters up to 75 GHz for several line configurations show a constant phase velocity of 2.9E8 m/s and a predominance of metallic losses with a square root frequency dependence.
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Article dans une revue
Electronics Letters, IET, 1996, 32, pp.821-822
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Contributeur : Patrice Salzenstein <>
Soumis le : mercredi 31 mai 2006 - 15:53:59
Dernière modification le : jeudi 18 octobre 2018 - 01:25:06
Document(s) archivé(s) le : vendredi 25 novembre 2016 - 10:56:47

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Patrice Salzenstein, Olivier Dupuis, Mohamed Helal, Eric Lheurette, Olivier Vanbésien, et al.. Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate. Electronics Letters, IET, 1996, 32, pp.821-822. 〈hal-00076886〉

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