Article Dans Une Revue
Applied Physics Letters
Année : 2020
franck gobet : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02457213
Soumis le : lundi 27 janvier 2020-20:51:35
Dernière modification le : mercredi 24 avril 2024-11:28:54
Citer
F. Gobet, J. Gardelle, M. Versteegen, L. Courtois, S. Leblanc, et al.. A versatile and compact high-intensity electron beam for multi-kGy irradiation in nano- or micro-electronic devices. Applied Physics Letters, 2020, 116 (4), pp.044102. ⟨10.1063/1.5141476⟩. ⟨hal-02457213⟩
44
Consultations
0
Téléchargements