Chapitre D'ouvrage
Année : 2003
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https://hal.science/hal-01840912
Soumis le : lundi 16 juillet 2018-18:48:41
Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11
Citer
G. Marinier, Stefan A Dilhaire, L. D. P. Lopez, M. Benzohra. Dynamic characterization of SiO2-Au microcantilevers using Michelson interferometer. Chiao, J. C. and Varadan, V. K. and Cane, C. Smart Sensors, Actuators, and Mems, Pts 1 and 2, 5116, pp.406-413, 2003, Proceedings of the Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (Spie), 0-8194-4976-8. ⟨10.1117/12.498827⟩. ⟨hal-01840912⟩
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