Investigation on TSV impact on 65nm CMOS devices and circuits
H. Chaabouni
(1)
,
M. Rousseau
(2)
,
P. Leduc
(3)
,
A. Farcy
(4)
,
R. El Farhane
(5)
,
Aurélie Thuaire
(6)
,
G. Haury
,
A. Valentian
,
G. Billiot
,
M. Assous
,
F. de Crecy
,
J. Cluzel
,
A. Toffoli
(6)
,
D. Bouchu
(7)
,
L. Cadix
,
T. Lacrevaz
,
P. Ancey
(8)
,
N. Sillon
,
B. Flechet
1
LERMA -
LERMA Cergy
2 CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
3 IBCP - Institut de biologie et chimie des protéines [Lyon]
4 PPrime [Poitiers] - Institut Pprime [UPR 3346]
5 LGGE - Laboratoire de glaciologie et géophysique de l'environnement
6 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
7 ICBMS - Institut de Chimie et Biochimie Moléculaires et Supramoléculaires
8 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
2 CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
3 IBCP - Institut de biologie et chimie des protéines [Lyon]
4 PPrime [Poitiers] - Institut Pprime [UPR 3346]
5 LGGE - Laboratoire de glaciologie et géophysique de l'environnement
6 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
7 ICBMS - Institut de Chimie et Biochimie Moléculaires et Supramoléculaires
8 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
Aurélie Thuaire
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1289891
- IdHAL : aurelie-thuaire
- ORCID : 0000-0001-9006-4507
G. Haury
- Fonction : Auteur
A. Valentian
- Fonction : Auteur
G. Billiot
- Fonction : Auteur
M. Assous
- Fonction : Auteur
F. de Crecy
- Fonction : Auteur
J. Cluzel
- Fonction : Auteur
L. Cadix
- Fonction : Auteur
T. Lacrevaz
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172496
- IdHAL : thierry-lacrevaz
- ORCID : 0000-0002-6741-3497
- IdRef : 10293908X
N. Sillon
- Fonction : Auteur
B. Flechet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172505
- IdHAL : bernard-flechet
- IdRef : 102939373