SIMULATION DU TRANSFERT DE CHALEUR ET DE QUANTITÉ DE MOUVEMENT DANS UN REACTEUR DE VAPODÉPOSITION

H. Chehouani , B. Armas , S. Benet , S. Brunet

Les processus de transfert de chaleur et de quantité de mouvement sont étudiés dans un réacteur de vapodéposition à axe vertical à paroi froide. La résolution des équations de l'hydrodynamique et de la thermique en formulation elliptique (ψ, ω, θ) conduit à une description fine des distributions de température et de vitesse à l'intérieur du réacteur sous balayage d'un gaz neutre. Les résultats des calculs montrent la présence de forts gradients localisés autour du substrat, ainsi qu'un phénomène de recirculation pour les faibles débits gazeux. L'influence des divers paramètres a été également examinée. Le cas d'un réacteur à axe vertical et à paroi chaude a été abordé.

Domaines: Articles anciens

H. Chehouani, B. Armas, S. Benet, S. Brunet. SIMULATION DU TRANSFERT DE CHALEUR ET DE QUANTITÉ DE MOUVEMENT DANS UN REACTEUR DE VAPODÉPOSITION. Journal de Physique Colloques, 1989, 50 (C5), pp.C5-47-C5-56. ⟨10.1051/jphyscol:1989509⟩. ⟨jpa-00229532⟩