Characterization and Modeling of 28-nm FDSOI CMOS Technology down to Cryogenic Temperatures

Arnout Beckers , Farzan Jazaeri , Heorhii Bohuslavskyi (1) , Louis Hutin (1) , Silvano de Franceschi (2) , Christian Enz (3)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 LaTEQS - Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité
3 EPFL - Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Arnout Beckers, Farzan Jazaeri, Heorhii Bohuslavskyi, Louis Hutin, Silvano de Franceschi, et al.. Characterization and Modeling of 28-nm FDSOI CMOS Technology down to Cryogenic Temperatures. Solid-State Electronics, 2019, ⟨10.1016/j.sse.2019.03.033⟩. ⟨hal-02083715⟩