Metrology in an SEM: Basic Concepts and Recent Experimental Validation
Résumé
no abstract
Communication Dans Un Congrès
Année : 2006
Jean-José Orteu : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02056729
Soumis le : lundi 4 mars 2019-17:35:55
Dernière modification le : mardi 28 février 2023-15:36:21
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02056729 , version 1
Citer
M.A. Sutton, N. Li, N. Cornille, Jean-José Orteu, A.P. Reynolds, et al.. Metrology in an SEM: Basic Concepts and Recent Experimental Validation. SEM 2006 Conference on Experimental and Applied Mechanics, Saint Louis, Missouri (USA), 4-7 June 2006 (oral presentation only), 2006, Saint Louis, United States. ⟨hal-02056729⟩
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