Monolithic silicon-micromachined free-space optical interferometers onchip

Tarik Bourouina 1, 2 Yasser Sabry Diaa Khalil
1 ESIEE Paris
2 ESYCOM - Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes
Type de document :
Article dans une revue
Laser & Photonics Reviews, 2015, 9 (1), pp.1 - 24. 〈10.1002/lpor.201400069〉
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01763660
Contributeur : Tarik Bourouina <>
Soumis le : mercredi 11 avril 2018 - 12:14:54
Dernière modification le : jeudi 7 février 2019 - 16:19:47

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Tarik Bourouina, Yasser Sabry, Diaa Khalil. Monolithic silicon-micromachined free-space optical interferometers onchip. Laser & Photonics Reviews, 2015, 9 (1), pp.1 - 24. 〈10.1002/lpor.201400069〉. 〈hal-01763660〉

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